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光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种用于获取并转换红外信号的光－机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列，包括按阵列分布的微悬臂梁单元，微悬臂梁单元中包含热变形结构和红外吸收板，热变形结构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧。整个微悬臂梁单元为侧向支撑的无衬底双层结构，热变形结构由热隔离梁和变形梁构成上下层回折式分布，红外吸收板与热变形结构连接，热变形结构与支撑梁连接，每组热变形结构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成，所...
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