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一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及微电子器件制备技术领域，特别是一种MEMS振动射流执行器芯片的制备方法，方法包括：
1、采用低压化学气相沉积的方法在硅衬底双面生长氮化硅膜；
2、在硅基片正面光刻出上电极图形；
3、蒸发铬/金薄膜；
4、超声剥离；
5、掩蔽刻蚀；
6、在硅基片背面光刻腐蚀窗口图...
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