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一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开了一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置，包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室和温度控制室组成；高压反应室用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连，且高压反应室的外壁上安装有半导体制冷环；温度控制室通过蒸发器盘管与高压反应室相连，实现高压反应室的制冷和加热；分离减压室通过管道与高压反应室相连，用于减压后将醇类和二氧化碳分离；超临界...
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