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利用倒装技术制作功率型微结构发光二极管管芯的方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　一种利用倒装技术制作功率型微结构发光二极管管芯的方法，包括如下步骤：1）在蓝宝石衬底上生长外延层结构；2）在外延层结构上刻蚀形成圆台；3）制作n型网状欧姆接触电极和电极焊点；4）在整个器件结构的上表面淀积二氧化硅或氮化硅绝缘层；5）将圆台上表面的绝缘层腐蚀掉；6）在整个器件结构的上表面除电极焊点外的其他区域淀积p型加厚高反射率金属电极；7）光刻腐蚀n电极焊点上面的绝缘层；8）将蓝宝石衬底的背面...
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