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一种新型键合用晶向对准装置

2005年 应用技术
  • 成果简介
　　本实用新型公开了一种新型键合用晶向对准装置。该装置包括两套可调节上下的五维调节架及安置在其上的两个吸盘，小孔光阑，激光器；其中两块晶片分别安置在两个吸盘上，激光器发出的激光经过小孔光阑后入射到一块晶片的解理面上，调节五维调节架使反射回来的激光从小孔光阑返回，此时将该晶片平动移开，按同样的方法调节好另一块晶片后调节五维调节架使之缓慢平动到前一块晶片上靠紧。
　　本实用新型提供的新型键...
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