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一种高效热调谐共振腔增强型探测器及其制作方法

2005年 应用技术
  • 成果简介
一种高效热调谐共振腔增强型探测器，其结构包括：一基片；一键合界面层，该键合界面层制作于基片之上；一第一反射镜，该第一反射镜制作于键合界面层之上，该第一反射镜由键合界面层的作用和基片牢固的粘合在一起；一外延层，该外延层制作于第一反射镜之上，该外延层构成共振腔的腔体部分；一第二反射镜，该第二反射镜制作于外延层之上；一保护层，该保护层制作在探测器有源区部分的表面和侧面；以及加热电极制作在保护层上...
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