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一种Ⅲ族氮化物衬底的生产设备

2004年

应用技术

成果简介

一种Ⅲ族氮化物衬底的生产设备，为复合型MOCVD-HVPE设备。在金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备中封闭生长室内设有金属舟，金属舟内装有金属，另有氯化氢气体通过金属舟，具有卤化物气相外延功能，使设备同时具有金属有机物化学气相淀积和卤化物气相外延双层功能。用该设备只需要在一个反应室中即可完成氮化镓衬底整个生长过程：先用金属有机源和氨气在衬底上生长0.1～1微米的氮化物结晶层，然后关闭...

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