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背孔结构氮化镓基发光二极管的制作方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种背孔结构氮化镓基发光二极管的制作方法，包括：在蓝宝石等绝缘衬底上依次外延生长N型氮化镓层，多量子阱发光有源区和P型氮化镓层；光刻刻蚀到N型氮化镓层内，制备P型欧姆接触电极和N型欧姆接触电极；划片将外延片上的管芯分割成单个管芯；在硅片上双面生成二氧化硅绝缘隔离层，在正面制备金属电极，背面光刻出背孔图形；形成背孔；在硅片正面采用厚胶光刻电镀凸点图形；在硅片背面制备一层低熔点的合金，形成管座...
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