首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

波长可调谐分布布拉格反射半导体激光器的制作方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种波长可调谐分布布拉格反射激光器的制作方法，包括：利用金属有机物化学气相淀积的方法在n型InP衬底上依次外延下限制层，多量子阱，上限制层，InP缓冲层；淀积介质膜；掩膜光刻制作注入保护图形，在增益区留下介质膜，其余区域腐蚀掉介质膜；进行P离子注入，然后腐蚀掉表面剩下的介质膜；在表面重新淀积介质膜；快速热退火；腐蚀掉介质膜，InP缓冲层；在波导区制作光栅；刻蚀阻止层；制作脊型结构，形成波导...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统