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一种微机械可调谐光滤波器

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种微机械可调谐光滤波器，其中包括：一铟磷衬底；在铟磷衬底上制备有n型重掺杂的铟磷缓冲层；一下布拉格反射镜制作在铟磷缓冲层的上部，该下布拉格反射镜的宽度小于铟磷缓冲层，且该下布拉格反射镜位于铟磷缓冲层的中间；在该下布拉格反射镜上部的两侧有铟镓砷层，该两侧的铟镓砷层之间为光学厚度为半波长整数倍的空气腔；在该铟镓砷层上有一上布拉格反射镜；在下布拉格反射镜的两端、铟磷缓冲层上制备有N-面电极；在...
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