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窗口隔离型极小孔半导体激光器和制作方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
一种窗口隔离型极小孔激光器,其中包括:一衬底;一N面电极,该N面电极制作在衬底的底面;一下限制层,该下限制层制作在衬底的上面;一有源区,该有源区制作在下限制层的上面;在该有源区上形成有限制出光的小孔;一上限制层,该上限制层制作在有源区的上面;脊形波导区,该脊形波导区制作在上限制层的上面;一绝缘介质膜,该绝缘介质膜制作在上限制层和脊形波导区的上面;一窗口隔离区和其上的覆盖层,该窗口隔离区和其...
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