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微机械陀螺仪封装真空度检测装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
本实用新型公开了一种微机械陀螺仪封装真空度检测装置，涉及微电子机械技术领域一种封装真空度检测仪。它由陶瓷外壳、盖板、加热丝、热偶丝组成。它采用在低真空状态下，对热偶式规管的加热丝通以一定的加热电流，热电偶产生的热电势取决于周围气体的压强，达到真空度检测的目的。本实用新型不需真空计，具有结构简单，操作容易，成本低等特点，特别适合微惯性小型器件低真空封装腔体内真空度测试。
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