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微型热流加速度计

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种微型热对流加速度计，涉及传感器领域中的一加速度计。它由密闭的单晶硅片、加热丝、温度传感器、内外腔体、检测电路等部件构成。它以气体为敏感介质，利用气体自然对流在加速度作用下发生改变的原理，测量某一坐标轴或同时测量两个坐标轴方向加速度的一种微传感器。它的加热丝和温度传感器悬固在硅腔体上面。加热丝产生的热场在有加速度时发生改变，通过检测电路温度传感器的温度传感器的温度变化从而测量出加...
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