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新的碳化硅发热元件制备技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　针对目前碳化硅发热元件制造方法存在的不足，本成果提出了一种新的制备发热元件冷端部、发热部，以及无需焊接一次成型的碳化硅发热元件的制造方法。通过合理调整配方中碳化硅的颗粒组成以及组份比例，合理控制一次与二次烧结工艺条件，使得碳化硅发热元件制备工序减少，冷端和发热部电阻比可控，得到的冷端部致密，气孔率低，其主晶相为α-碳化硅、β-碳化硅和游离硅，气孔率＜1%；发热部主晶相为α-碳化硅和气孔，游离硅...
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