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直拉法硅单晶生长用硅籽晶及其加工方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开一种直拉法制备硅单晶所用的硅籽晶及其加工方法。本发明的硅籽晶包括相互连为一体的硅籽晶上部和硅籽晶下部，其中所述的硅籽晶上部为倒圆台、倒棱台或柱体中的一种，所述的硅籽晶下部为柱体，当所述的硅籽晶上部为柱体时，所述的硅籽晶上部柱体的横截面大于所述的硅籽晶下部柱体的横截面，所述的硅籽晶是通过在不同切割机上对硅单晶进行切割或钻取而成。本发明硅籽晶能够在硅晶体重量高达500kg时，籽晶本身...
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