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化学机械研磨设备和用于化学机械研磨设备的防溅装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
公开了一种化学机械研磨设备和用于化学机械研磨设备的防溅装置，该研磨设备内安装有一防溅装置，该防溅装置包括安装在化学机械研磨设备内的环状防溅罩和与所述防溅罩相连的升降装置，所述防溅罩侧壁上开有沟槽，所述升降装置具有提升部件，且所述提升部件插入所述沟槽内，将所述防溅罩提升到上位档或下降到下位档。本发明通过在化学机械研磨设备内安装一防溅罩，阻挡飞溅出的研磨液并使其流回，降低了设备的清洗难度，减少...
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