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一种基于微透镜阵列的连续面形微结构成形方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　一种基于微透镜阵列的连续面形微结构成形方法：（1）在基底表面涂覆光刻胶；（2）将基底的光刻胶面和掩模图形分别放置于微透镜阵列的像面和物面处；（3）在掩模图形上方放置毛玻璃，并利用光源照射毛玻璃产生散射光，作为掩模图形的曝光光源；（4）对掩模图形进行缩小投影曝光，在曝光过程中，移动掩模图形或移动涂覆有光刻胶的基片，或移动微透镜阵列实现对抗蚀剂表面光强的连续调制；（5）更换其他物体，并移动掩模图形...
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