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三轴热对流加速度传感器

2007年 应用技术
  • 成果简介
  本发明公开了一种三轴热对流加速度传感器,它属于微机械传感器领域。它包括内部设置有敏感元件的封闭腔体、加热器、温度传感器,加热器和三个轴向的温度传感器都设置在封闭腔体内,敏感元件为限定在封闭腔体内的气体,加热器位于封闭腔体中心,在X、Y、Z三个轴向上分别设置有等距离对称布置的、特性值相同的温度传感器。它以单一气体作为敏感元件能够感知三个轴向的加速度。
  本发明的加速度传感器可以应用...
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