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具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法

2007年 应用技术
  • 成果简介
具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法,涉及超精密研磨与抛光加工技术领域。其特征在于其磨料层组分及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米的磨料1~20%,聚丙烯酸酯类的预聚物20~80%,自由基光引发剂1~3%,聚二甲基硅氧烷/丙烯酸聚合物O~2%,体系交联密度性能调节添加剂O~20%,丙烯酸酯化的活性稀释剂5~40%。其制备过程为:(1)原料充分混合均匀;(2)预备刚性聚合物基体;...
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