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一种过剩光载流子频谱分析仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种过剩光载流子频谱分析仪。其特征在于：（1）包括从左至右顺次排列的检测光光源、光束整形器、硅片、凸透镜、光电探测器阵列、扫描驱动器、振镜和激发光光源；（2）检测光光源、光束整形器、硅片、凸透镜和光探测器阵列设置在同一光轴上，所述激发光光源经振镜的反射光入射到所述硅片上，该入射光与检测光光源经过光束整形器的扁平光束在同一下面内，所述扫面驱动器与振镜连接并驱动振镜周期性转动，待检...
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