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利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
本发明公开了一种利用光纤光栅的合成波干涉台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性构成复合光纤干涉仪，该干涉仪含二个光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定系统，经反馈控制补偿修正环境干扰对测量系统的影响，从而使系统适用于在线测量。波长均在1550nm波段但波长各不同的三个激光器发出的光，由于光纤光栅反射布拉格波长和啁啾光纤光栅反射特定光谱的作用...
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