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降低微波等离子体激发难度的方法

2008年

应用技术

成果简介

　　本发明涉及降低微波等离子体激发难度的方法，属于微波等离子体激发技术领域。
　　本方法包括：在普通的微波反应腔中，插入喷气电离管；在电离管内通入工作气体；对喷气电离管逐渐加大电压直至气体放电，使喷气电离管产生电离流；调节喷气电离管的工作电压使电离流被吹到反应腔内的高场强区域；向反应腔内逐步加入微波能，直至等离子体团激发；调整微波能以维持等离子体，关闭喷气电离管的电压。
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