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硅薄膜太阳电池集成组件的制备技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明涉及一种硅薄膜太阳电池集成组件，它的结构和制备技术，特别是具有氧化锌背反射电极的硅薄膜太阳电池集成组件及其制备技术。而ZnO背反射电极是硅薄膜太阳电池陷光结构的重要组成部分，可大幅提高电池效率。它涉及硅薄膜太阳电池集成组件的关键工艺——子电池内联集成技术，属于新型能源中薄膜太阳电池的技术领域。本发明采用掩膜蒸镀金属电极，结合湿法腐蚀ZnO的方法，实现具有ZnO背反射电极的硅薄膜太阳电池子...
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