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微小转角干涉测量装置

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种微小转角干涉测量装置,其结构是:一调制的半导体激光器由可提供直流驱动信号和交流驱动信号的驱动电源驱动,在该半导体激光器发出的光束的前进方向上依次放置有光束准直系统、光束缩束系统和分光元件,在该分光元件的第一出射光前进方向上经第一反光镜,进入第一测量臂组件,在所述的分光元件的第二出射光束前进方向放置第二测量臂组件,在所述的分光元件的第三出射光束前进方向上置有光电转换元件,该光电转换元件之...
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