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提高光学薄膜激光损伤阈值的镀膜方法

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种提高光学薄膜激光损伤阈值的镀膜方法，该方法包括下列步骤：首先将基片放入石油醚中超声清洗，或放入去离子水中超声清洗，清洗完毕取出后用高纯的氮气吹干；然后将基片放入真空室内进行镀膜后，用氧等离子体对沉积的薄膜进行后处理。本发明方法可大幅度提高光学薄膜的激光损伤阈值，而且具有效率高、速度快、操作简单易行和费用较低的特点。...
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