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氧化物光电薄膜的研究

2002年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

在“七·五”“八·五”国家重点科技攻关项目、国家自然科学基金项目、山东省科技攻关项目和山东省自然科学基金项目的资助下，我们在硬质衬底、有机衬底上制备出高质量的ZnO、SnO_2、In_2O_3：Al、SnO_2：F、SnO_2：Sb及其ITO等不同材料的氧化物透明导电膜，所有的项目都通过鉴定和验收。
项目各项指标达到国际先进水平。同时，我们还用首次用氮掺杂的方法制备出性...

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