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基于测量相位或时间的调焦法位移测头及其测量仪

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开一种基于测量相位或时间的调焦法光学测头及其测量仪。属于位移测试技术及仪器领域。所述的位移测头包括由光源、音叉、物镜、被测表面，半透半反镜、视像器、光电元件、光阑构成。其特征在于在测量头中设置了由参考臂分光镜、参考臂光学透镜、参考臂小孔光阑、参考臂光电转换器构成的参考测量系统，或者是无该参考测量系统和无微型位移传感器的测量系统构成的测量头。上述的测量头构成的测量仪，主要由两路模拟信号处...
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