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多晶硅专用高纯三氯氢硅

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.技术说明:
  该产品应用于硅偶联剂和多晶硅的生产,其技术原理是沸腾床反应和化工精馏分离技术。
2.应用前景:
  我公司研制的多晶硅专用高纯三氯氢硅工艺采用了常压、加压冷凝技术、加压分离技术、直径800MM的沸腾床反应技术,与国内同行业相比具有技术先进、成本低、产品质量好、产品收率高等诸多优点。...
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