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磁控高密度等离子体刻蚀与PECVD设备

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　通过采用独特的磁场设计，使得在系统内部可以获得均匀的比较强的磁场。由于磁场对电子的有效约束，使得等离子体的密度大大提高，有效地减小了中性自由基对刻蚀过程和介质薄膜淀积过程的影响，可以有效地改善加工小尺寸器件的精度。...
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