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脉冲电子束沉积系统（PED）的研制及其应用

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　技术成果简介：
　　项目的主要内容和提出的依据：发现和开发新材料并将之做成各种器件应用到纳米技术、微电子学、光电子学等领域是目前物理、材料领域的重要研究之一。随着电子器件尺寸不断缩小至纳米尺度,薄膜的可控生长 (包括结构、组分、形貌等因素的控制)显得尤其重要。薄膜制备技术是微电子与光电子技术不断进步的保证,已有许多原理各异的技术用于薄膜生长和器件制作。由于化合物不同组元的饱和蒸汽...
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