首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

原子力显微镜用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸的测量

2007年 应用技术
  • 成果简介
　 作为一种纳米测量设备，原子力显微镜已在材料科学等领域得到广泛应用，目前人们正试图使原子力显微镜成为一种计量仪器进入工业测量领域，用于集成电路的线宽等特征尺寸及表面粗糙度的测量。该项目研究的计量型原子力显微镜具有量值溯源性，可将纳米测量的量值直接溯源到米定义激光波长基准，填补了我国国家纳米计量的空白，对纳米技术在我国工业生产中的应用和发展将具有重要的意义。
计量型原子力显微...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统