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微材料力学性能研究

2007年

应用技术

成果简介

　　微型机电系统（MEMS）是面向21世纪的关键技术，微型机械的设计与制造已取得了很大进展，但是对MEMS装置的失效机理以及如何建立失效模型问题还未能有效解决。微型机械设计还需要很多有关微构件的基本力学参量，影响微型机械装置功能和可靠性的薄膜材料力学性能需要精确的评价。利用电磁驱动式微拉伸装置，精确地测定了长度为100～660mm、宽度为20～200mm、厚度为2.4mm的多晶硅薄膜的力学性能，结...

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