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微机电系统构件的表面改性膜技术

2007年

应用技术

成果简介

　　在MEMS中，一般构件是在硅表面成型。基于VLSI制造硅微加工技术，使得人们能制作尺寸在10μm至100μm的微机械元件和作动器。当运动元件大小尺寸下降时，面积与体积之比都增大，因此，表面力的作用非常重要。与元件表面面积成比例的表面力（如静电力、范德华力、在流体中的粘性拖力等）取代体积力（如惯性力等）而成为主导力。在微动系统中，表面力都是垂直力的主要来源，是微作动器的主要负载，作用在表面上的摩...

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