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微机械陀螺

2007年

应用技术

成果简介

　　采用微细加工技术制作的小型化，低成本角速率传感器。
　　性能指标：样机偏置稳定性指标可达到0.36deg/s，非线性度小于0.65%。
　　特点：目前所研制的采用具有高深宽比的溶片工艺制作，具有较大的性能提升空间。所采用的表头设计方案和加工技术相对成熟，通过生产将大幅降低单个陀螺的价格。
　　适用范围：中低精度的陀螺在汽车防滑、防翻，玩具，摄像头稳定等民用...

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