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基于夹固振膜结构的微声学器件

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL03250991.X
　　基于夹固振膜结构的微声学器件，涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成，所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铅铁电薄膜层、金属铂上电极层、等离子化学气相淀积的二氧化硅层、金属铝引线层，该复合膜的四周与硅衬底固结在一起。
　　本实用...
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