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一种静电致动微夹持器

2007年

应用技术

成果简介

　　专利号：ZL02153484.5
　　一种静电致动微夹持器，属于微机电系统(MEMS-Micro-Electro Mechanical　Systems)领域。本微夹持器是以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合方式固定在底板上，柔性结构为连续的S形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，动梳齿的...

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