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集成硅微多道成像光谱分析仪系统

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　集成硅微多道成像光谱分析仪系统是利用微电子，微光学，微机械和图像传感技术将庞大复杂的多道成像光谱分析系统中的分光系统、成像系统、列阵等到以巧妙的组合方式实现三维混合集成。该系统结构紧凑，体积很小，抗振动、抗干扰能力强，能快速、实时、直观地获取光谱信息，使用极其方便可靠。...
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