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高压横向电导调制器件的He生微孔局域寿命控制

2007年

应用技术

成果简介

提出高压高速SOI横向电导调制器件He生空隙（voiDs）局域寿命控制方法，以提高其开关速度。较迄今习用的两种寿命控制技术，其局域性、热稳定性和兼容性均优。本项技术和模型具有普适意义。研究低能高剂量He生空隙寿命控制的机理，并将该技术应用于SOI电导调制型横向功率MOS器件中。引入包括空隙层寿命在内的有效寿命概念，建立完整的He生空隙局域寿命控制电导调制功率MOS器件的稳态和瞬态解析模型。...

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