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基于微光学的多功能三维控测头的研制

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本项目研究的核心为两部分：并行共焦探测头和升降工作台。
　　并行共焦探测头系统利用二元光学微透镜阵列产生二维点光源阵列来实现并行共焦光路，点光源、被瞄准表面上的位置点与CCD 上的单一像素（或由数个像素组成的阵列单元）一一对应，从而对测量表面二维区域进行同步瞄准。移动被测物面，用面阵CCD连续接收被瞄准阵列点的光强信号，根据共焦显微原理，即可同步获得被测二维区域的三维形貌信息。 <...
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