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纳米级微形貌检测仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　成果与项目的背景及主要用途：随着微细加工技术的不断进步和微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微表面的不断出现，迫切需要微表面三维形貌测量的相关技术。由于微表面结构是由微观结构单元组成的三维复杂结构，其测量一般都需要借助直接的或间接的显微放大，要求有较高的横向分辨率和纵向分辨率。应用显微干涉法研制了纳米级形貌检测仪，它综合了显微术和干涉法的优点，可以对微表面进行高精度的形貌测量。形貌检测仪在双...
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