首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

硅微机械陀螺

2007年 应用技术
  • 成果简介
本项目是基于微机电系统技术研制微小型、低成本的陀螺仪，用于敏感运动物体的角速率。其采用体硅半导体工艺制造敏感表头，采用高密度混合封装技术（HIC）和相应外围控制以及检测电路二次集成，形成硅微机械陀螺仪。目前实验室的原理样机尺寸小于12mm×22mm，零偏稳定性可达0.01deg/s，基本可满足目前汽车、IT、工业控制等领域。经过精度提高，还可进一步扩大应用范围，用于航空、航天领域。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统