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压电陶瓷直线位移驱动器

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　通过本项目基于仿生学的蠕动原理设计一种压电驱动精密直线电机——尺蠖电机（Inchworm Motor）。该电机通过小步距的位移累加，既能够实现微／纳米级的超精密驱动同时又可以满足较大行程的需要。压电材料作为一种新型功能材料具有线性好、控制方便、位移分辨率高、频率响应好、不发热、无磁干扰、无噪声等优点。通过本项目的研究工作，希望能够得到一种经济有效的超高精度定位方法来满足目前日益增长的高新技术研...
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