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新型单晶纳米硅薄膜及其场发射效应研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　本项目开展了以下几个方面的研究：
　　（1）首次用电化学阳极腐蚀方法直接在硅片上制备了粒径形状可控，均匀、厚度可调的大面积单晶纳米硅薄膜，并成功地观察到硅纳米薄膜材料场发射效应。其开启电场与碳纳米管相当，在真空微电子领域具有潜在的应用前景。
　　（2）深入研究了这种纳米结构材料的形成机理、物理特性及其具有优良场发射性能的原因，充分显示其作为场发射阴极材料的优越性能。 <...
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