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新型铁电薄膜材料及其新一代非致冷红外探测器阵列的研制

2007年

应用技术

成果简介

　　研究制备铁电薄膜的Sol-Gel技术和射频磁控溅射技术，制备出具有优异热释电性能的MPST、MBST和MPLZT铁电薄膜。进行铁电薄膜非致冷红外探测器阵列绝热层和绝热结构设计与制作。研制新型透明电极薄膜。研究铁电薄膜和电极薄膜微细图形刻蚀技术。研究阵列器件性能测试技术。进行铁电薄膜非致冷红外探测器1×16、1×32、1×128线列和16×16、128×128元阵列结构和版图设计，开展工艺和实验...

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