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粒子束注入技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
粒子束注入是当今世界一项新兴的材料表面改性处理技术。核工业西南物理研究院从八十年代初开始，将等离子体技术应用于该领域，已形成了气体离子注入、金属离子注入、金属离子和气体离子混合注入、全方位离子注入增强沉积和离子源等系列技术，研制和开发了多种型号和功能的注入设备及大量的注入工艺。其中，工业离子注入机已广泛应用于机械、电子、航空、航海、医疗器械等工业生产和实验研究领域，能明显改善材料表面性能。...
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