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纳米薄膜在微系统中的润滑与防护研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
一、背景情况
微系统是在微电子技术的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。通过使用与集成电路类似的制造技术，微系统的尺寸可以小至纳米或微米量级，因而其在国家安全、机械电子、生物医药、化工材料、交通运输等领域具有重要应用价值。对微系统而言，从早期的传感器到近来研制的微电机、微齿轮等装置，普遍存在粘着（摩擦）、磨损及可靠性等问题。微系统运转部位的润滑和防护直接关系到其使...
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