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新型MO源研制及其工艺研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
本课题研制出四种新型MO源：高纯二甲基乙基胺配氢化铝、高纯无氧三甲基镓、高纯溶液三甲基铟和高纯溶液二甲基二茂镁。
二甲基乙基胺配氢化铝是目前公认的性能优良的新型无氧铝源，本成果解决了极端无氧无水条件下产品的制备、产品及超纯纯化技术，纯度达到99.9995%，填补了国内空白。
无氧三甲基镓是高质量的有机镓源。本成果实现了在无氧试剂条件下，通过直接法，制...
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