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氮化镓基发光二极管外延片和器件制备的产业化关键技术

2007年

应用技术

成果简介

GaN基高亮度和功率型蓝绿光发光二极管(LED)是大屏幕全彩显示，信息指示和固态白光照明等应用领域的核心器件。本课题在GaN基LED材料的金属有机化合物气相外延(MOVPE)生长、管芯制作工艺以及后步封装等关键技术问题上取得了多项创新成果：
1、基于计算流体力学(CFD)理论进行了GaN材料的MOVPE生长工艺模拟研究，并利用模拟结果成功地指导生长工艺。
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