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面向石化等重要行业的MEMS压力传感器制造技术与实用化研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
本课题的成果就是针对石油化工、军事领域、能源电力以及汽车等行业对压力传感器的特殊需求，解决MEMS压力传感的批量制造与实用化技术难题。该成果推动我国目前压力传感器的研究工作在以上重要行业尽快实现商品化和产业化，成为产业发展和经济增长的新起点。
本项目的产业化开发工作各方面进展顺利。产业化所需要的批量生产技术问题已全部解决。在前期小批量生产的基础上，我们进一步完善了有关产...
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