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新型三维结构刻蚀技术

2007年

应用技术

成果简介

以微细加工工艺实验研究为主线，以非硅材料的微细结构成型为目标，进行采用LIGA工艺制备工具电极、微细电火花加工成型模具、然后通过陶瓷粉体烧结工艺制造陶瓷微细结构的技术研究，以及常温成形微压印光刻技术研究，研究开发出集成深度刻蚀、三维结构和特殊材料微细加工的新型MEMS三维加工技术。
开发出微细电火花三维加工实验装置，深入研究了制备工具电极的LIGA工艺，并开发出高深宽比...

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